1200℃雙溫區(qū)管式爐

供電電壓

AC220V，50Hz

*大功率

3KW

加熱溫區(qū)

雙溫區(qū) 200mm+200mm

工作溫度

≤1200℃

控溫精度

±1℃

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條

爐管材質

高純石英

爐管尺寸

φ80mm I.D x 1400mm L

密封方式

不銹鋼真空法蘭

真空測量

電阻規(guī)

工作氣體

氫氣、氮氣、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體

真空泵

雙極旋片式真空泵

極限真空度

10^-1Pa

三路質量流量計

閥門類型

不銹鋼針閥

氣路數量

三路

承壓范圍

0.05~0.3MPa

量程

1~100 SCCM（Ar）

1~200 SCCM（H₂）

1~500 SCCM (CH₄)

流量控制范圍

±1.5%

混氣罐容積

750mL

氣路材料

304不銹鋼

管道接口

6.35mm卡套接頭

供電電源

AC220V 50Hz

S射頻電源

輸出功率

500W

輸出精度

±1%

射頻頻率

13.56MHz

射頻穩(wěn)定度

±0.005%

冷卻方式

風冷