真空防腐型勻膠機性能優(yōu)點：

1.真空防腐型勻膠機主機機箱采用PP外殼材料，耐腐蝕易清潔

2.內(nèi)腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料（HDPE）

3.采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

4.排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

5.透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm（更高速可選）

旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 ：<±1rpm

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度及重復(fù)性：1rpm

CY-S-V真空防腐型勻膠機帶真空數(shù)字顯示功能

工藝時間設(shè)定：0-3,000sec/step，時間設(shè)置精度：0.1sec

支持晶圓尺寸：碎片至200mm（8”圓晶）

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